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          德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

          簡要描述:德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺
          敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
          典型應(yīng)用包括:
          半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
          PCB電路板組裝機(jī)
          超高精度機(jī)床
          高精度機(jī)床
          測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
          直驅(qū)電機(jī)

          • 產(chǎn)品型號(hào):LIC 4003
          • 廠商性質(zhì):代理商
          • 更新時(shí)間:2024-11-24
          • 訪  問  量:1016

          詳細(xì)介紹

          品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子,交通

          德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

          線性比例尺

          集成電路4003

          測量標(biāo)準(zhǔn)

          線膨脹系數(shù)*

          玻璃陶瓷或玻璃上的冶金光柵

          αTherm?8·10–6 K–1(玻璃)

          αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax微晶玻璃)

          精度等級(jí)*

          ?1微米(僅適用于Robax玻璃陶瓷),?3微米,?5微米

          基線誤差

          ≤±0.275微米/10毫米

          測量長度(ml)*

          在毫米

          240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440

          2640 2840 3040(Robax微晶玻璃,多1640毫升)

          質(zhì)量

          3 g+0.11 g/mm測量長度

          掃描頭

          LIC 411

          LIC 419 F

          LIC 419 m

          LIC 419 P

          LIC 419 Y

          界面

          恩達(dá)2.2

          法努克

          串行接口αi

          三菱高速接口

          松下

          串行接口

          安川電氣

          串行接口

          德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

          訂貨名稱*

          EnDAT22

          FANU05

          MIT03-4

          MIT02-2

          PANA01

          YEC07

          測量步驟*

          0.01微米(10納米)

          0.005微米(5納米)

          0.001微米(1納米)1)

          計(jì)算時(shí)間tcal

          時(shí)鐘頻率

          小于5μs

          小于16兆赫

          -

          穿越速度2)

          不大于600 m/min

          插值誤差

          ±20 nm

          電氣連接*

          電纜,1米或3米,帶8針M12連接器(外螺紋)或15針D形接頭(外螺紋)

          電纜長度(帶海德漢電纜)

          小于100米

          小于50米

          小于30米

          小于50米

          供電電壓

          直流3.6伏至14伏

          功耗2)(大值)

          3.6伏時(shí):≤700兆瓦

          14伏時(shí):≤800兆瓦

          3.6伏時(shí):≤850兆瓦

          14伏時(shí):≤950兆瓦

          電流消耗(典型)

          5伏時(shí):75毫安

          (無負(fù)載)

          5 V:95毫安(無負(fù)載)

          振動(dòng)55赫茲至2000赫茲

          沖擊6毫秒

          小于等于500 m/s2(EN 60068-2-6)

          小于等于1000 m/s2(EN 60068-2-27)

          工作溫度

          –10°C至70°C

          質(zhì)量掃描頭

          連接電纜

          連接元件

          不超過18克(無電纜)

          20克/米

          m12聯(lián)軸節(jié):15g;d-分接頭:32g

          *訂購時(shí)請選擇

          1)三菱:測量長度≤2040 mm

          安川:測量長度≤1840 mm

          2)見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息

          Robax是德國美因茨Schott Glaswerke的注冊商標(biāo)

          詳見:海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

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